本文以千级洁净室为例，分析了洁净空调送风量、送风温差以及送风状态点的确定方法，介绍了DDC自动控制系统在洁净室空气处理过程中的应用，分析了在高热少湿型洁净室中常用的一次回风空气处理方式，与传统一次回风空气处理过程相比较，在洁净室空气处理过程中应用合适的一次回风空气处理方式，可节省再热量及等量的冷量，同时应用DDC自动控制系统，可实现变水量运行，精确控制空调温湿度，节能效果显著。