简要地介绍了AiM检测器地原理及应用效果，该系统可以对沉积于SiO2表面地空气分子天无AMC进行实时监测，所活的地数据对于了解洁净室内地工艺过程与生产AMC间地相互关系特别有用。通过检测吸附物总量地长期变化趋势，可以确定洁净室内环境玷污地基本值，以便有利于对新污染源地早期确认。