• 2002年第1期
  •   来源：本站原创
  • 2004-11-18
本文介绍磁头生产厂洁净系统设计的有关内容，给出洁净空调主要设计参数\空调系统型式。工程通过美国NEBB测试，系统经过两年半的运行，情况正常，符合产品生产的要求。
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