• 2002年第1期
  •   来源：本站原创
  • 2004-11-18
本文以16M位、64M位集成电路工厂纯水为实例，介绍了两套超纯水装置的处理流程与制水特点，它们均已通过一年多的运转的考验，处理效果稳定，水质指标分别达到了设计水质要求。
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