• 2001年第3期
  •   来源：本站原创
  • 2004-11-18
本文从洁净室空调净化设计所采用的0.1μm无隔板超高效空气过滤器的性能、液槽密封装置、自动控制、防微振措施及测试效果等方面介绍了一级洁净室在工程中的应用情况。
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