• 2000年第2期
  •   来源：本站原创
  • 2004-11-18
以我国深亚微米水平的超纯水系统的实践经验为基础，以300mm芯片厂和深深亚微米加工技术的需要为对象，推测其水质、水量的要求和费用能力，评述若干制水关键技术的现状，展望其发展。
  • 推荐阅读
本站部分信息来自互联网，倘若您发现本站有侵权或不当信息，请与本站联系，经本站核实后将尽快修正！