• 1999年第3期
  •   来源：本站原创
  • 2004-11-18
随着集成电路技术的不断发展，对生产所需纯水水质要求更高，本文系统介绍了超大规模集成电路生产中的超纯水水质指标，典型制备流程。输送管材以及超纯水制备系统的发展。
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