• 2003年第5期
  •   来源:本站原创
  • 2004-11-18
将笔者1981年提出的方法加以补充,对经典沉降公式进行了修正,得出了最低成品率的计算公式及由不同集成度的集成电路成品率求洁净度级别的方法。
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