It is imperative that we should consider the two simultaneous controls of particle contamination and VOC pollution under different operating conditions. Its optimal operating program making-decision will involves many indexes such as quantified information and qualified information, which fail to be quantified. Therefore, the optimal making-decision for operating program belongs to gray situation decision problem. Contamination control is taken as an event, the different operating program as countermeasure, situations are then set up. A new method for optimal operating program in contamination control is presented by using effect measure to unify measured indexes with gray situation decision. And the research shows that gray situation decision with the advantage of uncomplicated principle, handy calculation and reliable results is a useful multi-objective optimal evaluation met