【中文关键词】 真空系统; 旋片式真空泵; 真空阀; 气镇阀; 漏油;

【英文关键词】 Vacuum system; Rotary vane vacuum pump; Vacuum valve; Pneumatic valve; Oil leak;

【中文摘要】 以某微电子工程真空系统为例,对其漏油故障进行分析,并给出检修思路和故障排除方法。