梁家富 徐玉党
华中科技大学建筑环境与设备工程系,武汉470073
摘　要:
在洁净室中应用SMIF微环境技术可以有效减少气体微粒，并实现硅片同工作人员及工艺设备的相互隔离。本文主要论述气流对微粒运动的影响，在微环境SMIF系统中的气流状况，以及影响微环境中的气流因素进行分析。
关键词:
SMIF 气流状况 微环境 洁净技术