• 2006年第4期
  •   来源：本站原创
  • 2007-02-02
洁净室的气流流型应以有效地排除污染粒子为优先。分析指出，气流流型应符合下述原则，即单向气流应接近流体力学中的渐变流和非单向气流尽量接近平面流动。
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