• 2006年第2期
  •   来源：本站原创
  • 2006-09-08
随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小，气态分子污染物（AMC）对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题。文章介绍了洁净室中AMC的定义，重点阐述了AMC的监测技术。
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